如何对真空炉进行泄漏检测
来源：康沃真空网 | 发布时间：2022-02-12 |
真空炉的泄漏检测主要采用两种方法：喷吹法和吸嘴法。
喷吹法是传统的泄漏检测方法，它是将炉膛抽成真空，并在炉外施加氦气(比如连接氦质谱仪)，然后观察结果。
另一种方法是吸嘴检测法，适用于您的检测对象不能抽真空的情况。采用该方法时，需要将一种示漏气体(比如氦气)充入被检测对象。被检测对象的例子包括换热器、水冷法兰、水冷风机和轴、电馈通、水套等。当被检测对象充入示漏气体后，使用传感器检查其外部是否有任何气体漏出。氦质谱仪也可用于这种检测方法。
惰性气体的泄漏检测也很重要。这是因为，整个回充系统——从液态气体储存系统直到真空炉——的泄漏率必须为零。如果惰性气体从供气系统或者炉体上的气阀漏出，会使真空炉表现出抽气效果差、密封性差、极限真空度差、难以排出正常释气、返流等错误的迹象。
惰性气体泄漏也有两种常用的检测方法，分别是薄膜(皂泡)检漏和真空检漏。一般来说，薄膜检漏法是最容易和最快的高压惰性气体泄漏检测法。它是在已知的可疑区域喷涂某种示漏液体，如果在任何检查部位产生了气泡，就能知道发现了一处泄漏。
真空检漏是更精确的方法。它是将液氮或液氩储存系统与真空炉脱离，确保整个系统处于真空状态，然后使用氦质谱仪检查系统的泄漏情况。在进行真空检漏时，应当：
1. 关闭外部气阀，以使外部液态气体系统与蒸发器、回充储罐、真空炉以及所有配套的减压和回充管路脱开。
2. 使用真空炉的正常抽气系统对炉膛进行抽真空操作。
3. 对回充储罐进行减压操作。
4. 对炉体上的回充阀人工送电以将其打开。这步操作应由有经验的专家按照安全规定来执行。
一旦打开回充阀和将回充储罐减压到大气压水平，真空炉就开始抽除管路中的气体。从气体储罐和蒸发器直到关闭的外部气阀，其中的气体都将被抽除。然后，可以使用真空炉的抽气系统对整个回充系统进行抽气，使整套系统都达到真空状态。接下来，应当使用氦质谱仪对系统进行泄漏检测。
当完成了真空炉和惰性气体的全部泄漏检测后，必须逐个消除每一处泄漏。
